(54)【考案の名称】シャワーノズル取付用部材及びこれを備えたシャワーパイプ

(73)【実用新案権者】株式会社プラエンジ

(72)【考案者】【考案者】

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【選択図】図1

【概要説明】

【分野】

【0001】
本考案は、液晶フラットパネルの洗浄装置等に用いられる複数のシャワーノズルをシャワーパイプに取り付けるためのシャワーノズル取付用部材及びこれを備えたシャワーパイプに関する。

【従来の技術】

【0002】
液晶フラットパネルの製造工程では、ガラス基板等の基板の表面に処理液等を供給して種々の処理が行われている。例えば、基板の洗浄工程では、基板表面の被膜等を除去するために、シャワーパイプに取り付けられた複数のシャワーノズルから洗浄液を基板表面に噴射する洗浄装置が用いられている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
従来、図4に示すように、シャワーパイプ100は、シャワーノズルを取り付けるためにタップ加工を貫通孔103aに施した単純な円筒形状のボス103をシャワーパイプ本体2の取付孔2aに嵌め込み、シャワーパイプ本体2とボス103との接触部を溶接することでボス103の取付を行っている。なお、図中の符号Yは溶接部である。
【0004】

【効果】

【0012】
本考案によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本考案に係るシャワーノズル取付用部材及びこれを備えたシャワーパイプによれば、突条部を超音波でシャワーパイプ本体の外周面に溶着させることで、従来の溶接工程に比べて容易にシャワーパイプ本体に取り付けることができる。したがって、取付工程の大幅な時間短縮が可能になると共に、製造コストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】本考案に係るシャワーノズル取付用部材及びこれを備えたシャワーパイプの一実施形態において、シャワーノズル取付用部材を取り付けたシャワーパイプを示すパイプ軸に直交した面での要部断面図である。
【図2】本実施形態において、シャワーノズル取付用部材を示す写真である。
【図3】本実施形態のシャワーパイプを用いた洗浄装置を示す概略的な装置内部の配置図である。
【図4】本考案に係るシャワーノズル取付用部材及びこれを備えたシャワーパイプの従来例において、ボスを取り付けたシャワーパイプを示すパイプ軸に沿った面(a)と、パイプ軸に直交した面(b)とにおける要部断面図である。

【0014】
以下、本考案に係るシャワーノズル取付用部材及びこれを備えたシャワーパイプの一実施形態を、図1から図3を参照しながら説明する。
【0015】
本実施形態のシャワーノズル取付用部材1は、図1から図3に示すように、樹脂製で円筒状のシャワーパイプ本体2に形成された取付孔2aに部材下部3Aが嵌め込まれて取り付けられると共に部材上部3Bにシャワーノズル4が取り付け可能であり、シャワーパイプ本体2内とシャワーノズル4とを連通可能な貫通孔1aを有した樹脂製で筒状のボスである。
【0016】
このシャワーノズル取付用部材1は、少なくとも部材上部3Bの貫通孔1a内にシャワーノズル4の雄ねじ部が螺着可能な雌ねじ部1bが形成されている。この雌ねじ部1bは、例えばねじタッピング加工によって形成される。
上記部材下部3Aは、部材上部3Bよりも小径な外径を有して部材上部3Bの下面から突出して形成されている。すなわち、部材下部3Aの外径は、取付孔2aに嵌め込み可能なサイズとされていると共に、部材上部3Bの外径は、取付孔2aよりも大きく設定されている。
【0017】
上記部材上部3Bは、部材下部3Aが取付孔2aに嵌め込まれた状態でシャワーノズル本体2の外周面に沿う曲面の下面を有すると共に、部材下部3Aを囲んで形成されシャワーパイプ本体2の外周面に超音波で溶着可能な環状の突条部3aを下面に有している。この突条部3aは、例えば断面形状がV字状又はU字状の山型に形成されている。なお、図1のように、突条部3aと、突条部3aに当接していたシャワーノズル本体2の外周面の一部とは、互いに溶着されて密着状態となる。
【0018】
また、部材下部3Aは、取付孔2aに嵌め込まれた状態でシャワーパイプ本体2の内面に面一で該内面に沿う曲面の下面を有している。すなわち、取付孔2aに嵌め込まれた際に、部材下部3Aがシャワーパイプ本体2の内面から突出しない形状とされている。
なお、このシャワーノズル取付用部材1は、塩化ビニル、ポリカーボネート、アクリル等の樹脂で射出成形で形成されている。
また、シャワーパイプ本体2は、塩化ビニル管、ポリカーボネート樹脂管、アクリル管等の樹脂のパイプで作製されている。
【0019】
また、上記上記シャワーノズル取付用部材1を用いた本実施形態のシャワーパイプ10は、上記の取付孔2aが形成された樹脂製で円筒状のシャワーパイプ本体2と、取付孔2aに取り付けられた上記シャワーノズル取付用部材1と、部材上部3Bに取り付けられたシャワーノズル4とを備え、取付孔2aに部材下部3Aが嵌め込まれた状態で突条部3aがシャワーパイプ本体2の外周面に超音波で溶着されている。
【0020】
上記シャワーノズル取付用部材1をシャワーパイプ本体2に取り付ける際には、取付孔2aに部材下部3Aを挿入し、部材上部3Bの下面をシャワーパイプ本体2の外周面に向けて押しつけた状態で超音波を加えることで突条部3aをシャワーパイプ本体2の外周面に溶着させる。
【0021】
次に、本実施形態のシャワーパイプ10を、例えば液晶フラットパネルPの洗浄装置11に用いた場合について図3を参照して説明する。
この洗浄装置11では、搬送用の複数のローラ12が装置の筐体13内に並べて設置されており、これらローラ12上に液晶フラットパネルPを載せて一定方向に向けて搬送しながら洗浄を行う。
【0022】
洗浄用のシャワーパイプ10は、複数のローラ12及びその上の液晶フラットパネルPを挟むようにしてこれらの上下に配設されており、各シャワーノズル4を液晶フラットパネルPに向けて配されている。これらシャワーパイプ10は、図示しない洗浄液Lの供給源やポンプ等に接続されている。
複数のシャワーノズル4は、液晶フラットパネルPの表面全体に洗浄液Lが噴射されるように所定間隔を空けて並んで取り付けられている。
【0023】
このように本実施形態のシャワーノズル取付用部材1では、部材上部3Bが、部材下部3Aが取付孔2aに嵌め込まれた状態でシャワーノズル本体2の外周面に沿う曲面の下面を有すると共に、部材下部3Aを囲んで形成されシャワーパイプ本体2の外周面に超音波で溶着可能な環状の突条部3aを下面に有しているので、突条部3aを超音波でシャワーパイプ本体2の外周面に溶着させることで、従来の溶接工程に比べて容易にシャワーパイプ本体2に取り付けることができる。
【0024】
すなわち、突条部3aがシャワーパイプ本体2に線接触しているため、超音波による振動が突条部3aに集中し、互いに樹脂同士であるシャワーパイプ本体2の外周面に容易にかつ強固に溶着される。また、従来の溶接工程のように熱によってシャワーパイプ本体2が曲がることが無く、曲がりを矯正するための工程も不要となる。
【0025】
また、部材下部3Aが、取付孔2aに嵌め込まれた状態でシャワーパイプ本体2の内面に面一で該内面に沿う曲面の下面を有しているので、シャワーパイプ本体2内に突出部が形成されず、流れる液が突出部によって乱されることがないため、均一な噴射を得ることができる。
さらに、シャワーノズル取付用部材1が射出成形で形成されているので、部材下部3Aの曲面とされた下面形状や部材上部3Bの突条部3aを容易に形成することができる。
【0026】
したがって、本実施形態のシャワーノズル取付用部材1を備えたシャワーパイプ10では、取付孔2aに部材下部3Aが嵌め込まれた状態で突条部3aがシャワーパイプ本体2の外周面に超音波で溶着されているので、熱変形が生じておらず、高い密着性を有してシャワーノズル取付用部材1が取り付けられ、良好な洗浄液Lの噴射が可能である。
【0027】
なお、本考案の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本考案の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【0028】
1…シャワーノズル取付用部材、1a,103a…貫通孔、1b…雌ねじ部、2…シャワーパイプ本体、2a…取付孔、3A…部材下部、3B…部材上部、3a…突条部、4…シャワーノズル、10…シャワーパイプ

(57)【要約】

【課題】溶接工程よりも短時間でかつ熱変形が生じずにシャワーパイプ本体に取付でき、さらにシャワーパイプ本体内の液の流れを乱さずに噴射が可能になるシャワーノズル取付用部材及びこれを備えたシャワーパイプを提供する。【解決手段】シャワーパイプ本体2に形成された取付孔2aに部材下部3Aが嵌め込まれて取り付けられると共に部材上部3Bにシャワーノズルが取り付け可能であり、貫通孔1aを有した筒状のシャワーノズル取付用部材1であって、貫通孔内にシャワーノズルの雄ねじ部が螺着可能な雌ねじ部1bが形成され、部材下部が、部材上部の下面から突出して形成され、部材上部が、部材下部が取付孔に嵌め込まれた状態でシャワーノズル本体の外周面に沿う曲面の下面を有すると共に、部材下部を囲んで形成されシャワーパイプ本体の外周面に超音波で溶着可能な環状の突条部3aを下面に有している。


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