(54)【考案の名称】基板のスクライブ装置

(73)【実用新案権者】株式会社シライテック

(72)【考案者】【考案者】

(72)【考案者】【考案者】

(72)【考案者】【考案者】

(72)【考案者】【考案者】

(72)【考案者】【考案者】

[fig000002]
【選択図】図1

【概要説明】

【分野】

【0001】
この考案は、大判な液晶パネルなどのガラス基板や膜付き基板、その他の基板に製品サイズの小割り用の切断線を同時に多数本入れる基板のスクライブ装置に関する。

【従来の技術】

【0002】
大判な液晶パネルのガラス基板から一度に多数枚の製品サイズの基板を同時に得ることで生産性を上げることができる。
【0003】
上記目的を達成するために、往復走行するテーブル上に大判なガラス基板を載置したのち、テーブルを走行させながら、テーブルの走行路の直上に左右に所定の間隔を在して並ぶ複数のカッタやニードル、レーザー線などのスクライブ治具の降下によりガラス基板の表面(上面)に一度に多数条の平行する小割用の切断線を入れる。この小割用切断線は、X軸方向のみ或いはX軸方向及びY軸方向に入れる。
【0004】
そして、並列各スクライブ治具は、製品サイズの寸法に見合うように数値制御により間隔を調整することができるようになっている(例えば、特許文献1参照)。
【0005】
また、上記以外にカメラによって正確なスクライブができるようにしたものがある(例えば、特許文献2,3参照)。
【0006】

【効果】

【0018】
以上のように、この考案の基板のスクライブ装置によれば、カメラによってアライメントマークの読み取りにともなうガラス基板の左右両辺縁に対する加工ずれ量を、旋回手段によりテーブルを旋回させて補正し、又スクライブ治具を降下し、かつテーブルを若干走行させて基板に入れた短い試し切り線とスクライブマークとをカメラによってそれぞれ読み取り、読み取りにともなうスクライブマークに対する試し切り線とのずれ量を、横移動手段によりスライダを左又は右方向にスライドさせて補正するので、マザー基板を用いての試し切りが不要になる。
【0019】
このため、大判で高価なマザー基板を使用したための無駄な出費をなくすることができると共に、試し切りと、その後のスクライブ位置の確認のために発生した機械の大幅な稼働率が低下するような問題もなくすることができる。
【0020】
特にスクライブ完了時にスクライブ中心線とスクライブ基準中心との距離から補正値を算出して、この補正値を次回のスクライブのためにスクライブ治具の移動距離に加減算するようにしてあるので、順次スクライブするタクト運転の稼働率を大幅に向上させて生産率の著しい向上をはかると共に、スクライブ精度が安定し、かつ歩留りを向上させる。
【0021】
また、移動台にスクライブ治具とカメラとを設けて、この移動台を縦移動手段によりテーブルの走行方向前後にカメラによりパターンマークを読み取ってずれにともなう補正量に応じた移動を行うようにしてあるので、各スクライブ治具によりスクライブしたパターン製品のテーブル走行方向前縁のずれがない、すなわち不良品の発生しないパターン製品のスクライブができる。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】この考案の第1の実施形態を示す平面図。
【図2】同上の側面図。
【図3】同要部を示す縦断拡大側面図。
【図4】ガラス基板の平面図。
【図5】試し切り線とスクライブマークとの関係を示す拡大平面図。
【図6】試し切り線とスクライブマークとの関係を示す拡大平面図。
【図7】正確なスクライブを示す拡大平面図。
【図8】第2の実施形態を示す平面図。
【図9】同上の縦断側面図。
【図10】同上の要部を示す拡大平面図。
【図11】同縦断拡大側面図。
【図12】製品のパターンを示す平面図。
【図13】製品のズレ量を示す平面図。

【0023】
以下、この考案の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【0024】
この考案の第1の実施形態では、図1から図6に示すように、往復走行する走行体1上には、旋回手段2により平面上で旋回するとと共に、載置した大判な基板Aを保持するテーブル3が設けてある。
【0025】
上記の基板Aとしては、例えば、ガラス製で、液晶用基板や膜付き基板などのスクライブ加工するための基板である。
【0026】
上記走行体1の往復走行は、図示の場合、敷設した二条のレール4に走行体1の両側下面に設けてあるスライダ5をスライド自在に係合すると共に、レール4間に配置して両端を回動自在に軸承した雄ネジ6に走行体1の下面に取り付けてある雌ネジ7をねじ込み、第1モータ8の運転により雄ネジ6を可逆駆動して走行体1を前後方向に走行させるようにしたが、限定されず、その他の構成により前後方向に走行させてもよい。
【0027】
上記の旋回手段2は、図示の場合、走行体1上に可逆モータを据え付けて、この可逆モータの出力軸をテーブル3の下面中心に固定したが、限定されない。
【0028】
上記テーブル3上に載置する基板Aの保持は、テーブル3をボックスとしてボックス内を吸引し、ボックスの頂壁に多数の連通小孔35を設けて、吸引により保持するようにしてある。
【0029】
その際、テーブル3上の1つのコーナーを挟む二辺のピン9にガラス基板Aの辺縁を当接させて位置決めするようにしてある。
【0030】
さらに、テーブル3の走行路を横切る水平材21の両端間にガイドレール22を設けて、このガイドレール22に複数のスライダ23をスライド自在に係合し、この各スライダ23には、シリンダなどの昇降手段24により昇降するスクライブ治具25が設けてある。
【0031】
上記のスクライブ治具25としては、カッタホイールやニードル、レーザー光線などがある。
【0032】
そして、各スライダ23は、横移動手段26により単独に左右方向に移動できるようになっている。
【0033】
上記の横移動手段26は、図示の場合、水平材21の略全長にラック27を敷設して、各スライダ23のベース28に据え付けてある第2モータ29の出力軸に固定したピニオン30を噛み合わせ、第2モータ29の可逆運転によりスライダ23を左方向、右方向にスライドさせるようにしてある。
【0034】
そして各スクライブ治具25の近傍には、ベース28に据え付けたカメラ31が設けてある。
【0035】
上記のカメラ31及びスクライブ治具25は、スクライブ線方向の同軸線上の前後に配置してある。
【0036】
このカメラ31は、横移動手段26により両サイドのスライダ23を基板Aの上面両側角のアライメントマークaの位置に移動させて、アライメントマークaを読み取り、又基板Aの上面に設けてあるスクライブマークB及び各スクライブ治具25のカッタホイール等によりガラス基板Aの辺縁部上面に入れた短い試し切り線Cを読み取る。
図中41はスクライブ治具25の昇降をガイドするガイド手段である。
【0037】
上記のように構成すると、テーブル3上に基板Aを載置し、走行体1を往復走行させて、カメラ31により基板Aの四角のアライメントマークBを読み取り、読み取りにともなう加工ずれ量をカメラ31に接続された演算装置によりずれ量を計算し、その計算にもとづいて制御装置により旋回手段2を運転してテーブル3を時計、反時計方向に補正量に応じた角度旋回させる。
【0038】
また、基板Aに対向する両側二辺の縁間にスクライブ治具25により切断線を入れる(スクライブ)前に、まずテーブル3と共に保持基板Aを若干前方に走行させる。
【0039】
このとき、昇降手段24により各スクライブ治具25を降下させて図4に示す基板Aの必要とする辺縁部の表面に印刷してある各スクライブマークBの手前の(スライブマークBから外れた)部分に図5や図6に示す短い試し切り線Cを入れ、試し切り線Cを入れたのち、昇降手段24により各スクライブ治具25を上昇復帰させる。
【0040】
このとき、各カメラ31によってスクライブマークBと試し切り線Cとを読み取り、読み取りにともなう試し切り線CがスクライブマークBの設定された正規の位置(図5に示す)にあるか、図6に示すように不正規の位置にあるかを検知し、検知にともなう不正規の位置(図6に示すように、スクライブ線Xに対し試し切り線Cのずれ距離Zがあると、スクライブ線Xにスクライブ治具25が合致するように)にスクライブ治具25のスライダ23を横移動手段26により(第2モータ29の運転により)ずれ量に見合う修正をして正規の位置に微動させる(補正する)。
【0041】
上記の補正方式は、カメラ31に接続された演算装置によりずれ量を計算し、その計算にもとづいて制御装置により第2モータ29を正転、逆転運転する。
【0042】
しかして、走行体1を前進走行させながら、テーブル3上の基板Aに昇降手段24により下降させてあるスクライブ治具25により切断線を入れる。
【0043】
なお、切断線は、同様の手順をへて前の切断線間にも単数、複数回入れることができ、又テーブル3と共に保持状態の基板Aを90°旋回させて、直角に交差する切断線を入れることができる。
【0044】
なお、周知のように基板Aの厚み(板厚)に応じてスクライブ治具25の降下量、すなわちスクライブ深さを決定する。
【0045】
また、スクライブ治具25が守備範囲のアライメントマークaに対してアライメントマークaを基準として設定mm移動し、その時のずれ量+mmを記憶し、次に2線目のスクライブマークB位置に移動し、その時のずれ量−mm、3線目のずれ量+mmの各ずれ量を演算装置に送って補正値を演算してスクライブマークB中心値に位置決めできるようにする。
【0046】
すなわち、上記の移動値、ずれ量で各スクライブマークB位置を読み、誤差分の補正値を入れて次にスクライブ治具25を動かすと、スクライブマークBの中心にカメラ31の中心が合うことになる。
【0047】
この考えで各スクライブ治具25の移動値を読み取り、上記の方法で補正をかけることにより、それぞれのスクライブ治具25位置全てがスクライブマークB基準値の位置に位置決めできる。
【0048】
その後再度スクライブ治具25がスクライブマークB位置に移動してその位置で基板Aの1部分にスクライブラインを入れる。
【0049】
なお、上記の条件ができて各スクライブ治具25が1本目のスクライブ完了後実際にスクライブができているかの確認をしてもよい。
【0050】
すると、図7に示すように、スクライブマークBの中心に合致したスクライブ線Xをスクライブすることができる。
図中Sは、スクライブ線幅である。
【0051】
また、スクライブの完了後にスクライブ線Xの中心とスクライブ基準中心との距離から補正値を算出して、この補正値を次回のスクライブのためにスクライブ治具の移動距離を加減算するので、順次スクライブするタクト運転の稼働率を大幅に向上させて生産性の著しい向上はもとより、スクライブ精度が安定すると共に、歩留りを向上させる。
【0052】
この考案の第2の実施形態では、図8から図11に示すように、往復走行する走行体1上には、旋回手段2により平面上で旋回すると共に、載置した大判な基板Aを保持するテーブル3が設けてある。
【0053】
上記の基板A、走行体1の往復走行、テーブル3の旋回手段2及びテーブル3に載置した保持方式の構成は、第1の実施形態と同様につき詳細な説明を省略する。
【0054】
また、テーブル3の直上を横切る水平のバー材61には、横移動手段62により左右方向にスライドする複数の位置調整手段63付の並列スライダ64が設けてある。
【0055】
上記の横移動手段62の構成は、図示の場合、バー材61の後面全長に設けたレール65に水平な横材66の前面に設けてあるスライダ67をスライド自在に係合すると共に、バー材61の両端間に軸承した雄ネジ68を横材66の雌ネジ69にねじ込んで、モータ70の可逆運転により雄ネジ68をドライブすることで、横材66が横移動し、また複数のスライダ64は、横材66の後面の全長に設けてあるレール71にスライド自在に係合させてあり、さらに位置調整手段63は、横材66の上面全長に設けてあるラック72に各スライダ64に軸承したピニオン73を噛み合わせると共に、それぞれのピニオン73をモータ74により可逆駆動することで、各スライダ64を左右方向にスライドして位置調整することができる。
なお、上記構成に限定されず、その他の構成により目的を達成することもできる。
【0056】
また、各スライダ64には、縦移動手段75によりテーブル3の走行方向にスライドする移動台76が設けてあり、各移動台76には、昇降手段77により昇降するスクライブ治具78が設けてある。
【0057】
上記の昇降手段77及びスクライブ治具78は、第1の実施形態と同様につき説明を省略する。
【0058】
上記の縦移動手段75は、図示の場合、スライダ64のベース79のレール80に移動台78のスライダ81をスライド自在に係合すると共に、ベース79に据え付けたモータ91の可逆駆動により回転する雄ネジ82を移動台76に支持させてある雌ネジ83にねじ込んで構成したが、限定されずその他の構成により移動台76を移動(前後方向に)させてもよい。
【0059】
さらに、移動台76には、基板3のアライメントマークa及び各スクライブ製品毎のパターンマークS(製品パターンT毎の)を読み取るカメラ84が設けてある。
【0060】
上記のように構成すると、両側移動台74のカメラ84により基板3の両角のアライメントマークaを読み取り、読み取りにともなう加工ずれ量をカメラ84に接続された演算装置によりずれ量を計算し、その計算にもとづいて制御装置により旋回手段2を運転してテーブル3を時計、反時計方向に補正量に応じた角度旋回させる。
【0061】
次に、各カメラ74により各スクライブ製品毎のパターンマークSを読み取り、読み取りにともなうスクライブ治具78とスクライブ製品Tのテーブル3の走行方向前縁との加工(スクライブ線)ずれ量をカメラ84に接続された演算装置によりずれ量を計算し、その計算にもとづいて縦移動手段75により移動台76をテーブルの走行方向前方或いは後方に移動(補正量に応じた)させる。
【0062】
その後に昇降手段77によりスクライブ治具78を降下させ、横移動手段62によるスクライブ治具78の横行、テーブル3の縦行によりスクライブしてパターン通りの製品Tを得る。
【0063】
A 基板
a アライメントマーク
B スクライブマーク
C 試し切り線
1 走行体
2 旋回手段
3 テーブル
4 レール
5 スライダ
6 雄ネジ
7 雌ネジ
8 第1モータ
9 ピン
21 水平材
22 レール
23 スライダ
24 昇降手段
25 スクライブ治具
26 横移動手段
27 ラック
28 ベース
29 第2モータ
30 ピニオン
31 カメラ
61 バー材
62 横移動手段
63 位置調整手段
64 スライダ
65 レール
66 横材
67 スライダ
68 雄ネジ
69 雌ネジ
70 モータ
71 レール
72 ラック
73 ピニオン
74 モータ
75 縦移動手段
76 移動台
77 昇降手段
78 スクライブ治具
79 ベース
80 レール
81 スライダ
82 雄ネジ
83 雌ネジ
84 カメラ
S パターンマーク

(57)【要約】

【課題】カッタにより入れる切断線の正確なラインを保障する基板のスクライブ装置を提供する。【解決手段】基板を保持する旋回手段2付テーブル3の走行路の直上を横切るガイドレール22に横移動手段によりそれぞれが左右方向にスライドするように設けた複数のスライダと、この各スライダに昇降手段24により昇降するように設けたスクライブ治具と、上記各スライダに上記基板の各スクライブ位置マークa及びアライメントマークを読み取るように搭載したカメラ31とからなり、上記カメラによるアライメントマークの読み取りにともなう加工ずれ量を旋回手段によりテーブルを旋回させ、又カメラによるスクライブマークと上記スクライブ治具での短い試し切り線との読み取りにともなうスクライブ加工ずれ量を横移動手段により補正位置に上記スライダを移動させるように連動させてスクライブ治具によりスクライブする。


【パテントレビュー】

あなたの意見を伝えましょう:


【インターネット特許番号リンク】

インターネット上にあるこの特許番号にリンクします(発見しだい自動作成):