(54)【考案の名称】静電チャック

(73)【実用新案権者】日本碍子株式会社

(72)【考案者】【考案者】

(72)【考案者】【考案者】

[fig000002]
【選択図】図2

【概要説明】

【分野】

【0001】
本考案は、静電チャックに関する。

【従来の技術】

【0002】
従来より、ジョンソンラーベック力による吸着力を発現する静電チャック(ESC)が知られている(例えば特許文献1参照)。
【0003】

(57)【要約】

【課題】冷却性能や吸着力を維持しつつ、脱着時間が短い静電チャックを提供する。【解決手段】静電チャック10は、ウエハWを載置するウエハ載置面12を有し、静電電極14が埋設されたセラミックス製の円盤状部材である。ウエハ載置面12には、ウエハWを支持する複数の突起16が形成されている。複数の突起16は、ウエハ載置面12上にほぼ均等に分布されるように形成された複数の円形状の突起16aと、ウエハ載置面12の外周に沿って形成された1つの環状突起16bとで構成されている。円形状の突起16a及び環状突起16bの表面は、表面粗さRaが0.2〜0.4μmである。また、円形状の突起16a及び環状突起16bがウエハWに接触する総面積をウエハWの面積で除した割合(百分率)である面積率が2〜60%である。


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